1. Методы получения, очистки и легирования монокристаллических материалов
2. Механическая обработка кристаллов полупроводниковых материалов
3. Полупроводниковые подложки и физико-химические методы обработки их поверхности
4. Диффузия в полупроводниках
5. Технология эпитаксиальных слоев
6. Ионная имплантация
7. Технология тонких пленок
8. Фотошаблоны и технология их изготовления
9. Литографические процессы в технологии микроэлектронных устройств
10. Сборка микроэлектронных устройств
11. Герметизация микроэлектронных устройств