1. Методы получения, очистки и легирования монокристаллических материалов

2. Механическая обработка кристаллов полупроводниковых материалов

3. Полупроводниковые подложки и физико-химические методы обработки их поверхности

4. Диффузия в полупроводниках

5. Технология эпитаксиальных слоев

6. Ионная имплантация

7. Технология тонких пленок

8. Фотошаблоны и технология их изготовления

9. Литографические процессы в технологии микроэлектронных устройств

10. Сборка микроэлектронных устройств

11. Герметизация микроэлектронных устройств